|
Lehrende: Prof. Dr. rer. nat. Udo Eugen Schwalke
Veranstaltungsart:
Vorlesung und Übung
Orga-Einheit: FB18 Elektrotechnik und Informationstechnik
Anzeige im Stundenplan:
THIS
Fach:
Anrechenbar für:
Semesterwochenstunden:
4
Unterrichtssprache:
Deutsch
Min. | Max. Teilnehmerzahl:
- | -
Lehrinhalte:
<!--[if gte mso 9]><xml> <w> <w>Normal</w:View> <w>0</w:Zoom> <w> <w> <w>21</w:HyphenationZone> <w> <w> <w>false</w:SaveIfXMLInvalid> <w>false</w:IgnoreMixedContent> <w>false</w:AlwaysShowPlaceholderText> <w> <w>DE</w:LidThemeOther> <w>X-NONE</w:LidThemeAsian> <w>X-NONE</w:LidThemeComplexScript> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> </w:Compatibility> <w>MicrosoftInternetExplorer4</w:BrowserLevel> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> </m:mathPr></w:WordDocument> </xml><![endif]--><!--[if gte mso 9]><xml> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> </w:LatentStyles> </xml><![endif]--><!--[if gte mso 10]> <style> /* Style Definitions */ table.MsoNormalTable {mso-style-name:"Normale Tabelle"; mso-tstyle-rowband-size:0; mso-tstyle-colband-size:0; mso-style-noshow:yes; mso-style-priority:99; mso-style-qformat:yes; mso-style-parent:""; mso-padding-alt:0cm 5.4pt 0cm 5.4pt; mso-para-margin:0cm; mso-para-margin-bottom:.0001pt; mso-pagination:widow-orphan; font-size:11.0pt; font-family:"Calibri","sans-serif"; mso-ascii-font-family:Calibri; mso-ascii-theme-font:minor-latin; mso-fareast-font-family:"Times New Roman"; mso-fareast-theme-font:minor-fareast; mso-hansi-font-family:Calibri; mso-hansi-theme-font:minor-latin; mso-bidi-font-family:"Times New Roman"; mso-bidi-theme-font:minor-bidi;} </style> <![endif]--> <p>Die Vorlesung umfasst die Themengebiete:</p> <p> Einkristallines Silizium Grundmaterial, Schichttechnik, Lithographie, Ätztechnik & Reinigung, Dotierverfahren, Metallisierung, Aufbautechnik, Prozesskontrolle, Prozessintegration, Simulation</p> Prozessschritte und zur Herstellung nötige Prozesstechnik zur Fertigung integrierter Schaltungen in Silizium-Planartechnik werden behandelt.<br/><h1>Ziele:</h1><h1></h1><!--[if gte mso 9]><xml> <w> <w>Normal</w:View> <w>0</w:Zoom> <w> <w> <w>21</w:HyphenationZone> <w> <w> <w>false</w:SaveIfXMLInvalid> <w>false</w:IgnoreMixedContent> <w>false</w:AlwaysShowPlaceholderText> <w> <w>DE</w:LidThemeOther> <w>X-NONE</w:LidThemeAsian> <w>X-NONE</w:LidThemeComplexScript> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> </w:Compatibility> <w>MicrosoftInternetExplorer4</w:BrowserLevel> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> </m:mathPr></w:WordDocument> </xml><![endif]--><!--[if gte mso 9]><xml> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> </w:LatentStyles> </xml><![endif]--><!--[if gte mso 10]> <style> /* Style Definitions */ table.MsoNormalTable {mso-style-name:"Normale Tabelle"; mso-tstyle-rowband-size:0; mso-tstyle-colband-size:0; mso-style-noshow:yes; mso-style-priority:99; mso-style-qformat:yes; mso-style-parent:""; mso-padding-alt:0cm 5.4pt 0cm 5.4pt; mso-para-margin:0cm; mso-para-margin-bottom:.0001pt; mso-pagination:widow-orphan; font-size:11.0pt; font-family:"Calibri","sans-serif"; mso-ascii-font-family:Calibri; mso-ascii-theme-font:minor-latin; mso-fareast-font-family:"Times New Roman"; mso-fareast-theme-font:minor-fareast; mso-hansi-font-family:Calibri; mso-hansi-theme-font:minor-latin; mso-bidi-font-family:"Times New Roman"; mso-bidi-theme-font:minor-bidi;} </style> <![endif]--> <p>Ein Student sollte nach Besuch der Vorlesung:</p> 1) Silizium kristallografisch beschreiben können, 2) die unterschiedlichen Formen von Siliziumdioxid differenzieren, 3) alle zur Herstellung integrierter Schaltungen nötigen Schichttechniken kennen, 4) nasschemische und plasmachemische Ätzverfahren unterscheiden, 5) die für die Planartechnik verwendeten Lithographieverfahren verstehen, 6) Methoden der Prozesskontrolle erlernen, 7) Grundkenntnisse zur Bauelementsimulation und 8) zum Packaging von integrierten Schaltungen erwerben.<br/>
Literatur:
[1] Widmann, Mader, Friedrich: Technologie hochintegrierter Schaltungen, Springer Verlag[2] Richard C. Jaeger: Introduction to Microelectronic Fabrication Prentice Hall, 2002 (ISBN: 0-201-44494-7)[3] S.M. Sze: VLSI Technology, McGraw-Hill
Voraussetzungen:
Halbleiterbauelemente Grundlagen (3. Semester) bestanden
Erwartete Teilnehmerzahl:
Weitere Informationen:
<!--[if gte mso 9]><xml> <w> <w>Normal</w:View> <w>0</w:Zoom> <w> <w> <w>21</w:HyphenationZone> <w> <w> <w>false</w:SaveIfXMLInvalid> <w>false</w:IgnoreMixedContent> <w>false</w:AlwaysShowPlaceholderText> <w> <w>DE</w:LidThemeOther> <w>X-NONE</w:LidThemeAsian> <w>X-NONE</w:LidThemeComplexScript> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> </w:Compatibility> <w>MicrosoftInternetExplorer4</w:BrowserLevel> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> <m> </m:mathPr></w:WordDocument> </xml><![endif]--><!--[if gte mso 9]><xml> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> <w> </w:LatentStyles> </xml><![endif]--><!--[if gte mso 10]> <style> /* Style Definitions */ table.MsoNormalTable {mso-style-name:"Normale Tabelle"; mso-tstyle-rowband-size:0; mso-tstyle-colband-size:0; mso-style-noshow:yes; mso-style-priority:99; mso-style-qformat:yes; mso-style-parent:""; mso-padding-alt:0cm 5.4pt 0cm 5.4pt; mso-para-margin:0cm; mso-para-margin-bottom:.0001pt; mso-pagination:widow-orphan; font-size:11.0pt; font-family:"Calibri","sans-serif"; mso-ascii-font-family:Calibri; mso-ascii-theme-font:minor-latin; mso-fareast-font-family:"Times New Roman"; mso-fareast-theme-font:minor-fareast; mso-hansi-font-family:Calibri; mso-hansi-theme-font:minor-latin; mso-bidi-font-family:"Times New Roman"; mso-bidi-theme-font:minor-bidi;} </style> <![endif]--><br/><i></i>
Offizielle Kursbeschreibung:
|
